<optgroup id="vcbqp"></optgroup>
<span id="vcbqp"></span>
<ol id="vcbqp"></ol>
<ruby id="vcbqp"></ruby>

<ol id="vcbqp"></ol>
<ol id="vcbqp"><output id="vcbqp"></output></ol>
    1. 
      

      <ol id="vcbqp"></ol>
      <span id="vcbqp"><sup id="vcbqp"><object id="vcbqp"></object></sup></span><optgroup id="vcbqp"><em id="vcbqp"><del id="vcbqp"></del></em></optgroup>
      <span id="vcbqp"><sup id="vcbqp"></sup></span>

    2. <optgroup id="vcbqp"><li id="vcbqp"><del id="vcbqp"></del></li></optgroup>
      ?
      ?
      LL Automation 電話 +86 150 0067 4198
      您身邊的流量計供應商-上海領理自動化

      LL-RS10FD數字型熱式氣體質量流量控制器

      LL-RS10FD數字型熱式氣體質量流量控制器

        一、儀表概述:
       
        LL質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、是有工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括:電子工藝設備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
       
        二、測量原理:
       
        LL-RS10FD系列氣體質量流量控制器精度較高、堅固性源于我公司獨特的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器,能自動校正溫度及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數值,然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器(RTD)。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上,整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內。
       
        三、性能特點:
       
      1 量程范圍 (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500...)SCCM
      (0~1,2,3,5,10,50,100,200,500...)     SLM
      2 準確度 ±1.5%F.S
      3 線性 ±0.5~1.5%F.S
      4 重復精度 ±0.2%F.S
      5 響應時間 電特性:10sec      氣特性:(1~4)sec
      6 工作壓差 0.1~0.5MPa
      7 耐壓 3MPa
      8 工作環境溫度 0~70℃
      9 數字量 RS485  MODBUS協議
      10 模擬量 DC 0~5V ,4~20mA 可選
      11 供電 DC +15V/24V 可選,流量計<400mA,控制器<600mA
      12 電氣連接 DB15
      13 漏率 1×10-8SCCSHe
      14 底座材質 316L不銹鋼
      15 密封材質 氟橡膠,丁晴橡膠,氯丁橡膠
      16 氣路接頭 Φ3,Φ6,Φ10,1/8〞,1/4〞,3/8〞
       
        注意
      質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣(N?)標定。
      質量流量的單位規定為SCCM 標準毫升/分);   SLM (標準升/分)。
      標準狀態規定為:      溫度-----273.15K           (0℃);
                            氣壓-----101325 Pa        (760mm  Hg)。
      F.S (Full Scale)       滿量程值


    3. 上一篇:沒有了!

    4. 下一篇:LL-DS數字型熱式超大量程MFC/M質量流量計/控制器
    5. LL-A MASS系列模擬式質量流量計/控制器/A mass 系列是一款利用層流束式熱分布技術直接測量氣體的質量流量。無需進行溫度、壓力校正。設計精密、成本較低的產品,···...

      更新時間:2021/08/31

      LL-D MASS系列質量流量計/控制器/LL -D mass 系列是一款模擬數字兼容模式的儀表,可通過模擬數顯控制儀或儀表面板調節,或者 PLC 進行設定和顯示···...

      更新時間:2021/08/31

      LL-XD MASS系列質量流量計/控制器/XD mass 系列是一款模擬數字兼容模式的儀表,可通過模擬數顯控制儀或儀表面板調節,或者 PLC 進行設定和顯示瞬時流···...

      更新時間:2021/08/31

      ?
      ? ?
      [{ "site.code": "cn", "general.cookie_message": "本網站使用Cookie來確保您在我們的網站上獲得***佳的體驗。", "general.cookie_learnmore": "更多信息", "general.cookie_dismiss": "知道了!" }]
      爆乳熟妇一区二区三区霸乳_亚洲国产成人无码电影_久久久久久无码AV成人影院_日本少妇寂寞少妇AAA
      <optgroup id="vcbqp"></optgroup>
      <span id="vcbqp"></span>
      <ol id="vcbqp"></ol>
      <ruby id="vcbqp"></ruby>

      <ol id="vcbqp"></ol>
      <ol id="vcbqp"><output id="vcbqp"></output></ol>
      1. 
        

        <ol id="vcbqp"></ol>
        <span id="vcbqp"><sup id="vcbqp"><object id="vcbqp"></object></sup></span><optgroup id="vcbqp"><em id="vcbqp"><del id="vcbqp"></del></em></optgroup>
        <span id="vcbqp"><sup id="vcbqp"></sup></span>

      2. <optgroup id="vcbqp"><li id="vcbqp"><del id="vcbqp"></del></li></optgroup>